型號(hào)
02TM232
調(diào)整維數(shù)
XY
驅(qū)動(dòng)方式
測(cè)微頭
驅(qū)動(dòng)位置
中心
導(dǎo)軌
V型導(dǎo)軌+交叉滾柱
行程
25mm
刻度
0.01mm
精度
0.001mm
直線度
0.003mm（單軸）
擺動(dòng)誤差
<20″
自重
2.15kg
負(fù)載
15kg